Mikilvæg staða steinfræðitækni í hálfleiðaraiðnaðinum

Mannlegt samfélag er ekki ókunnugt" útskorið" og" merking" ;.Sem tákn siðmenningar ristu menn til forna út totem af lífi í hellinum.Sem tákn nútíma vísinda rista menn í dag uppbyggingu hringrásar á hálfleiðaraöflum.Fólk í fornöld notaði tré og stein. Í dag er fólk gáfaðra og það þarf að rista í minna mæli. Fólk notar rafmagn og ljós.Það er líka augnablik og það verður hringrás þegar það er skorið á hálfleiðara.

Auðvitað er það ekki eins einfalt og fræðileg greining.Stafrit er bara til að höggva uppbyggingu smári tækisins á hálfleiðaranum og leiðina sem tengir smári.Til að sannarlega átta sig á hringrásinni er einnig þörf á röð flísaferlaaðferða eins og lyfjamisnotkun, útfellingu og umbúðum.En ljósritun er fyrsta skrefið og lágmarksstærð sem allt flísferlið getur náð ræðst af ljósritunarferlinu.

Þar semuppfinning fyrsta smárií1947, vísindi og tækni hafa verið að þróast hratt og rudd brautina fyrir uppfinningu fullkomnari, öflugri, hagkvæmari og orkunýtnari vara.Þrátt fyrir gífurlegar framfarir hafa vandamálin við upphitun smári og núverandi leka alltaf verið lykilhindranir við að gera smærri smára og gera lög Moore&# 39 síðast.Það er enginn vafi á þvíákveðin efni sem hafa verið notuð til að búa til smára fyrirfortíð40ára þarf að skipta út.

Heimurinn' s fyrsti smári

Talið frá tilkomu fyrsta smári hefur þróun hálfleiðaratækni verið meira en hálf öld og hún heldur enn sterkri þróun þróun. Það heldur áfram að fylgjaMooreLög&# 39 um að samþætting flísanna munitvöfalt inn18mánuði og stærð tækisins verður tvöfölduð á þriggja ára fresti.Hraði þróunar erlækkað um0.7sinnum.ICframleiðsla meðstór stærð, fín línubreidd, mikil nákvæmni, mikil afköst og lítill kostnaðurer að koma með áður óþekktar áskoranir í hálfleiðarabúnað.

Í framleiðsluferlinu hafa samþættar hringrásir gengið í gegnum mörg ferli svo sem efnablöndun, grímu, ljósritun, hreinsun, etsun, skömmtun og efnavélrænni fægingu. Meðal þeirra er ljósritun mikilvægasta ferlið sem ákvarðar háþróað stig framleiðsluferlisins.Með þróun samþættra hringrása frá míkrón stigi til nanómetra stigs hefur bylgjulengd ljóssins sem notuð er í litografíu einnig breyst fráí436nmog365nmbylgjulengdir ínálægt útfjólubláum (NUV) sviðtilí248nmog193nmbylgjulengdirí djúpu útfjólubláu (DUV) svið.Sem stendur nota flestir framleiðsluferlar flísanna248nmog193nmsteinfræðitækni.Sem stendur errannsóknir áEUVExtreme útfjólubláa litografíutækni með abylgjulengd13,5 nmerfara líka hratt áfram.

Árið 1997,IBMþróað samtengingartækni flís kopars

Með bættri samþættingu flísanna eru settar fram hærri og hærri kröfur um ljósfræðitækni.Í1980s, var almennt talið að takmörk upplausnar sem náðist með ljóssteypu væri0.5, en með beitingu og þróun nokkurrar nýrrar tækni, þar með talin ljósgjafa, myndlinsur, ljóssnyrtivörur, skrefskönnunartækni og Þróun tækni til að bæta litóupplausn (RET) hefur fært litografíumörkin niður fyrir núverandi0.1.Þrátt fyrir að sumir séu fullir af efasemdum um möguleika ljósfræðilegrar litografíu, þá heldur áfram lífseigur lífskraftur hennar að brjótast í gegnum svokallaða takmörkunarupplausn, sem er almennur steinþrýstitækni sem nú er notuð.

Heild300mmobláta og a65nmferli framleiðslu smáriútvegað afIntel

Stafrit er ein lykiltækni samþættra hringrása. Það er mikilvægur efnahagslegur þáttur í allri framleiðslu vörunnar. Kostnaður við steinritun tekur35% afallan framleiðslukostnaðinn.Stafrit er einnig mikilvæg ástæða sem ákvarðar þróun samþættra hringrása í samræmi við lög Moore' Ef engar framfarir eru í litografíutækni er ómögulegt fyrir samþættar hringrásir að fara frá míkron í djúpa undirmíkron og síðan til nanótímabilsins.